当社では、シンギュレーション装置の主要機能、
ダイサーとハンドラーを自社開発しています。
製品紹介
当社では、シンギュレーション装置の主要機能、
ダイサーとハンドラーを自社開発しています。
トランスファ方式やコンプレッション方式でモールディングされた製品を個片化し収納するシンギュレーション装置をラインアップしています。製品切断する自社製ダイサーや個片化した製品を収納するハンドラーは高スループットでお客様の生産性向上に応える装置です。
FMS4040トレイオフロードタイプ
FMS3040リングオフロードタイプ
FMSシリーズは、40mm X 150mmから100mm X 300mmまでの、半導体製造で数多く取り扱われている基板サイズに対応したフルオートのシンギュレーション装置です。
当社製のダイサーユニットを搭載することで、最小1.0mm X 1.0mmの個片化を実現します。
当社製のダイサーユニットには、ツインカットテーブルとツインスピンドルを採用しています。また、ハンドラーユニットでは、ピックアンドプレースに可変ピッチ機構を採用することで、高速搬送と安定収納を実現し、UPH40,000を可能にしています。
さらに、反りの大きな成形品を矯正して切断したり、基板の伸縮・変形などによるカット中の製品ずれをカメラで確認し補正することで、カット精度を最適なものに保ちます。また、装置内に製品の外観検査機能を設けているため、お客様の検査工程を削減することができます。
※FMSは、TOWA株式会社の日本およびその他の国における登録商標または商標です。
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